[보고서] 주사전자 현미경-SEM [Scanning Electron Microscope]에 대상으로하여
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작성일 20-04-25 19:10본문
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전자들 은 전자기파의 wave성격을 지닌 하전된 입자로서 de Broglie`s equation에 따르면 전자 빔의 파장은 전자들의 속도에 반비례한다. 광학현미경의 작동원리나 한계에 대한 물리적 법칙들이 전자현미경에도 그대로 적용된다된다. 즉 광학현미 경으로는 두 점 사이가 0.2㎛보다 가까운 거리는 구별할 수 없다는 이야기가 된다된다. 전자 현미경의 전자총에서 방출된 전자의 속 도는 가속전압에 비례하므로 짧은 파장의 전자빔을 이용하여 고배율(90 ~ 800,000배)을 얻을 수 있다
이상에서 살펴본 바와 같이 광학 현미경와 전자 현미경을 비교하면 다음과 같다. 기존의 광학현미경의 최대 확대배율은 1,500배이다.설명
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레포트/기타
SEM(Scanning Electron Microscope)
1. SEM이란?
SEM은 주사전자 현미경으로서 고체 상태의 미세조직과 형상을 observation하는데 매우 유용하게 사용되는 分析기기 중 하나이다. 차이점은 유리렌즈 대신에 전자기렌즈를 사용하는 것과 빛의 파장이 다르다는 것뿐이다. 분해능 (Resolution)은 illumination system의 파장, 대안렌즈나 대물렌즈의 numerical aperture(NA)에 의해 결정된다된다.
광학현미경의 이러한 단점을 극복하기 위해서 전자현미경이 개발된 것이다. 이 값이상은 해상능(Resolution)이라고 하는 렌즈(빛)의 성질에 의해 제한을 받는다.
전자현미경
광학현미경
조명기구
이용파장
매질
렌즈
개구각
해상력
배율
초점
콘트라스트
전자빔
0.0859Å(20KV)~0.0370Å(100KV)
진공
…(To be continued )
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다. 따라서 1.4의 numerical aperture를 가진 대물렌즈를 사용하면 가시광선([λ]avg = 550nm)을 사용하는 광학현미경의 경우에는 0.2 ㎛이다. 이러한 관계는 Abbe에 의하여 수학적으로 R = 0.61 [λ]/NA로서 표시되었다.